Полупроводники

Главная Отрасли Полупроводники

Кварц применяется в ряде различных областей в процессе производства полупроводников, где чистота имеет первостепенное значение. Крупное потребление кварцевой продукции, как правило, характерно для оконечных процессов изготовления полупроводников, где «пластины», чаще всего сделанные из кремния, проходят ряд этапов, чтобы, в конечном итоге, создать миллионы схем, известных под названием «микрочипы». На многих этапах этих процессов требуется точный контроль газовых реакций при высоких температурах на поверхности пластин. Кварцевые элементы обычно используются для обеспечения сохранения высокой степени чистоты, при возможности выдерживать высокое давление/ высокий вакуум в условиях высокой температуры, при отсутствии реакции с самими пластинами или при введении частиц, которые, в конечном итоге, приведут к сбоям схемы.

Кварцевые емкости (или ванны) также применяются в процессе травления, где используются (иногда летучие) химические вещества для очистки или травления кремниевых пластин при номинальной и контролируемой величине, в некоторых случаях, при температуре. Кварц способствует созданию инертной среды для химических веществ, а также не содержит инородных веществ, способных засорять продукцию.

Кварц также используется в процессе производства самих пластин, где начальный затравочный кристалл, в особых условиях, преобразуется в (как правило) длинные слитки цилиндрической формы. Затем эти слитки нарезают слоями и полируют, чтобы создать пластины, которые используются в оконечном процессе изготовления полупроводников, описанном выше. Кварцевые тигли (которые напоминают большие чаши) используются в этом процессе с очень специфическими требованиями относительно степени чистоты на внутренней поверхности для обеспечения самой высокой степени чистоты и плотности слитков, которые выращиваются внутри.